1、钟罩式炉体

　　钟罩式炉体主要由炉罩、炉底座和支架组成。炉罩为双层水冷钟罩式，炉内设置有节能效果显著的隔热屏。侧面的不同高度、不同角度分布有观察孔，顶部有吊挂用的吊环，上部有出水孔和进气孔，中部有放气孔，下部有进水孔。炉底盘也为双层水冷结构，与炉罩之间用真空橡胶圈密封。炉底盘上有输电装置，用以放置需处理的工件。下面设有支撑柱，通过输电装置向下穿过炉底盘，与高压直流电源连接。由于工作时产生溅射会使炉盘之间的绝缘性能破坏，因此输电装置和支撑柱都设有屏蔽装置，调整屏蔽套即可调整屏蔽间隙的大小。一般间隙小于1mm时，即可使辉光在间隙处熄灭。

　　2、井式炉炉体

　　由井式炉体、支架和炉盖等组成，也为双层水冷结构。炉盖及炉体侧面在不同高度和不同角度上分布有观察孔，上部有出水孔和进气孔，下部有进水孔。炉盖与炉体之间用真空橡胶圈密封，炉盖下面悬挂有输电装置，以吊挂工件，输电装置与炉盖相互绝缘，也设有屏蔽装置。吊挂输电装置与钟罩式离子渗氮炉的输电装置原理相同。